等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液态、气态三种状态存在，但在一些特殊的情况下有第四种状态存在，如地球大气中电离层中的物质。等离子体状态中存在下列物质：处于高速运动状态的电子；处于激活状态的中性原子、分子、原子团（自由基）；离子化的原子、分子；未反应的分子、原子等，但物质在总体上仍保持电中性状态。
在真空腔体里，注入介质气体、通过射频电源起辉产生高能量的等离子体。等离子体轰击被清洗物表面，与有机污染物发生化学及物理作用，形成挥发性化合物，随工作气体排出，达到清洗的目的。
等离子清洗在半导体封装中的应用：
○ 晶圆清洗：清除残留光刻胶；
○ 封装点银胶前：使工件表面粗糙度及亲水性大大提高，有利于银胶平铺及芯片 粘贴，同时可大大节省银胶的使用量，降低成本；
○ 压焊前清洗:清洁焊盘，改善焊接条件，提高焊线可靠性及良率；
○ 塑封：提高塑封料与产品粘结的可靠性，减少分层风险；
○ BGA基板清洗：在BGA贴装前对PCB上的Pad进行等离子体表面处理，可使Pad表面达到清洁、粗化和活化的效果，极大的提高了BGA贴装的一次成功率；
○ FlipChip引线框架清洗：经等离子体处理可达到引线框架表面超净化和活化的 效果，提高芯片的粘接质量。
等离子清洗机产品规格书：
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项目 |
HTM-6023 |
HTM-6025 |
HTM-6041 | ||||
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工作 |
清洗平台 |
2个 | |||||
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真空腔 |
1个 | ||||||
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真空腔尺寸 |
458mm×308mm×30mm | ||||||
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工作轨道数量 |
4轨（标准） |
5轨（定制） |
6轨（定制） |
5轨×2列 |
4轨（标准） 5轨（定制） | ||
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单次片式 |
4条 |
5条 |
6条 |
10条 |
4条 | ||
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适应产品规格 |
长 mm |
158-300 |
158-300 |
158-300 |
153 |
158-300 | |
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宽 mm |
25.4-100 |
25.4-70 |
25.4-54 |
40-72 |
25.4-100 | ||
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工艺 |
射频功率 |
50-500W可调 | |||||
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真空度 |
＞10pa | ||||||
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氩气流量 |
5-30ml/min | ||||||
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清洗时间 |
依据产品具体设定 | ||||||
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清洗效果判别方法 |
水滴角测定仪 | ||||||
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清洗效果 |
水滴角＜15° | ||||||
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产品载具尺寸mm |
308×108×155 |
308×80×155 |
308×80×155 |
160×80×153 |
308×108×155 | ||
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产品载具步距 |
≥2.54mm，可设定 | ||||||
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产品进料/收料方式 |
自动升降，自动进、出料，产品片式清洗后，回到清洗前的存放位置。 | ||||||
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UPH |
576条/小时 |
720条/小时 |
864条/小时 |
1000条/小时 |
576条/小时 | ||
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更换品种调节点 |
手动调节三处 |
全自动 | |||||
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设备 |
上下料 |
左进左出，自动升降，清洗后自动回原层位 | |||||
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清洗送收料 |
高效双盘交互式防过载自动送收料 | ||||||
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真空腔电极 |
平行电极板结构 | ||||||
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控制系统 |
PC控制+PLC控制 | ||||||
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机械标准件 |
SMC气动元件+YASKAWA电机+SMC电缸+台湾上银直线导轨+MISUMI标准件+陶瓷导轨 | ||||||
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电器元件 |
PC+OMRON PLC+伺服+SCHNEIDER电气元件 | ||||||
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真空泵 |
KASHIYAMA干泵，2Pa,600L/min | ||||||
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射频电源 |
1000W 13.56MHz | ||||||
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信息化 |
清洗参数 |
20段工艺参数预先设定，一键调用 | |||||
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运行数据 |
实时显示 | ||||||
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清洗记录 |
实时记录 | ||||||
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报警日志记录 |
可记录，可查询，可输出 | ||||||
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设备管理系统联网 |
选配 | ||||||
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与MES系统联网 |
选配 | ||||||
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设备主要用途及特点 |
用途 |
适用于规模大、机台多的生产线进行上芯、压焊、塑封产品的框架及基板清洗。 |
适用于LED或短产品全制程清洗。 |
适用于规模大、机台多的生产线进行上芯、压焊、塑封产品的框架及基板清洗。 | |||
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动力配置 |
供电电源 |
AC220V 50Hz～60Hz 32A四孔插头 5KW | |||||
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压缩空气 |
4-6bar，快插口径ø8mm | ||||||
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氮气 |
4-6bar，快插口径ø8mm 99.99% | ||||||
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氩气 |
2-4bar，快插口径ø8mm 99.9% | ||||||
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排气 |
600L/MIN，φ25mm | ||||||
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重量 |
820KG | ||||||
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设备外形尺寸 |
1670mm×1100mm×2010mm | ||||||
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0917-6753866